fotolitogrāfija
fotolitogrāfija
1.Fotomehāniska litogrāfijas tehnika, kur iespiedformu uz litogrāfijas akmens (vai metāla plāksnes) iegūst, negatīvu attēlu nokopējot uz gaismjutīgas kārtiņas un pēc tam ķīmiski apstrādājot; arī šādas iespiedformas novilkums.
2.Fotoķīmisks process, kurā uz pusvadītāja vai cita materiāla iegūst noteiktu mikroreljefu, kas atbilst veidojamās integrālās shēmas konfigurācijai.
Avoti: SV99
Korpusa piemēri
Šie piemēri no latviešu valodas tekstu korpusa ir atlasīti automātiski un var būt neprecīzi.
- Pētnieki sāka izmantot no mikroelektronikas nozares pārmantotās fotolitogrāfijas iekārtas mikroeletromehānisko sistēmu ( MEMS) mikrofabrikācijai.
- Ļoti augstas kvalitātes printeri tiek izmantoti personalizētu dokumentu masveida izveidei, piemēram, kredītkartes vai uzņēmumu rēķini, un pat spēj konkurēt ar fotolitogrāfiju.
- 3.1. gaismas izturīgiem un atstarojošiem pārklājumiem fotolitogrāfijas procesos;
- Izmantojot fotolitogrāfiju, uz substrāta tiek izveidots gaismas iedarbības modelis, izmantojot fotomākslu vai virtuālo fotomākslu, kas tiek projicēta no digitālās mikrospoguļa ierīces.
- Galvenās metodes oligonukleotīdu mikromaršīnu izveidei ir gēla spilventiņi ( Motorola), mikroelektrodi ( Nanogen), fotolitogrāfija ( Affymetrix) un tintes tehnoloģijas ( Agilent).